Semiconductor devices -- Micro-electromechanical devices -- Part 26: Description and measurement methods for micro trench and needle structures
NORMA vydána dne 20.10.2017
Označení normy: JIS C5630-26:2017
Datum vydání normy: 20.10.2017
Počet stran: 24
Přibližná hmotnost: 72 g (0.16 liber)
Země: Ostatní normy
Kategorie: Technické normy JIS