
Semiconductor devices -- Micro-electromechanical devices-- Part 2: Tensile testing method of thin film materials
NORMA vydána dne 20.3.2009
Označení normy: JIS C5630-2:2009
Datum vydání normy: 20.3.2009
Počet stran: 10
Přibližná hmotnost: 30 g (0.07 liber)
Země: Ostatní normy
Kategorie: Technické normy JIS