
Semiconductor devices -- Micro-electromechanical devices -- Part 12: Bending fatigue testing method of thin film materials using resonant vibration of MEMS structures
NORMA vydána dne 20.2.2014
Označení normy: JIS C5630-12:2014
Datum vydání normy: 20.2.2014
Počet stran: 24
Přibližná hmotnost: 72 g (0.16 liber)
Země: Ostatní normy
Kategorie: Technické normy JIS