IEC/TR 63258-ed.1.0

Nanotechnologies - A guideline for ellipsometry application to evaluate the thickness of nanoscale films

NORMA vydána dne 19.3.2021

Anglicky -
Elektronické PDF (4824.80 CZK)

Anglicky -

Tištěné (4824.80 CZK)

Anglicky -

CD-ROM (4863.80 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: IEC/TR 63258-ed.1.0
Datum vydání normy: 19.3.2021
Počet stran: 21
Přibližná hmotnost: 63 g (0.14 liber)
Země: Mezinárodní technická norma
Kategorie: Technické normy IEC

Anotace textu normy IEC/TR 63258-ed.1.0 :

IEC TR 63258:2021 is a Technical Report focused on the practical protocol of ellipsometry to evaluate the thickness of nanoscale films. This document does not include any specification of the ellipsometers, but suggests how to minimize the data variation to improve data reproducibility.