IEC 62047-30-ed.1.0

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 30: Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of MEMS piezoelectric thin film

NORMA vydána dne 15.9.2017

Anglicky -
Elektronické PDF (3638.20 CZK)

Anglicky -

Tištěné (3638.20 CZK)

Anglicky -

CD-ROM (3677.80 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: IEC 62047-30-ed.1.0
Datum vydání normy: 15.9.2017
Počet stran: 20
Přibližná hmotnost: 60 g (0.13 liber)
Země: Mezinárodní technická norma
Kategorie: Technické normy IEC

Anotace textu normy IEC 62047-30-ed.1.0 :

IEC 62047-30:2017(E) specifies measuring methods of electro-mechanical conversion characteristics of piezoelectric thin film used for micro sensors and micro actuators, and its reporting schema to determine the characteristic parameters for consumer, industry or any other applications of piezoelectric devices. This document applies to piezoelectric thin films fabricated by MEMS process