State system for ensuring the uniformity of measurements. Reflectometers of the extreme ultraviolet radiation for measurements of the characteristics of multilayer nanostructures in the wavelength range 10 to 30 nm. Procedure of measurements
NORMA vydána dne 1.1.2012
Označení normy: GOST R 8.716-2010
Datum vydání normy: 1.1.2012
Počet stran: 12
Přibližná hmotnost: 36 g (0.08 liber)
Země: Ruská technická norma
Kategorie: Technické normy GOST