
State sysem for ensuring the uniformity of measurements. Radiometers of ultraviolet radiation measurements for photolithography technological processes testing. Verification methods
NORMA vydána dne 1.1.2009
Označení normy: GOST R 8.640-2008
Datum vydání normy: 1.1.2009
Počet stran: 14
Přibližná hmotnost: 42 g (0.09 liber)
Země: Ruská technická norma
Kategorie: Technické normy GOST