Electronic engineering materials. Resists for lithography processes. General specifications
NORMA vydána dne 1.1.2005
Označení normy: GOST R 52250-2004
Datum vydání normy: 1.1.2005
Počet stran: 31
Přibližná hmotnost: 93 g (0.21 liber)
Země: Ruská technická norma
Kategorie: Technické normy GOST