Vacuum equipment. Apparatus for ion implantation. General technical requirements
NORMA vydána dne 1.7.1983
Označení normy: GOST 25196-82
Datum vydání normy: 1.7.1983
Počet stran: 3
Přibližná hmotnost: 9 g (0.02 liber)
Země: Ruská technická norma
Kategorie: Technické normy GOST