Test methods for measuring resistivity of semiconductor wafers or sheet resistance of semiconductor films with a noncontact eddy-current gauge
NORMA vydána dne 30.10.2009
Označení normy: GB/T 6616-2009
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 30.10.2009
Země: Čínská technická norma
Kategorie: Technické normy GB