
Practice for determining semiconductor wafer near-edge geometry—Part 3:Sector area flatness(ESFQRESFQDESBIR
NORMA vydána dne 2.7.2026
Označení normy: GB/T 43894.3-2026
Poznámka: K dispozici od: únor 2027
Datum vydání normy: 2.7.2026
Země: Čínská technická norma
Kategorie: Technické normy GB