
Practice for determining semiconductor wafer near-edge geometry—Part 1:Measured height data array using a curvature metricZDD
NORMA vydána dne 25.4.2024
Označení normy: GB/T 43894.1-2024
Datum vydání normy: 25.4.2024
Země: Čínská technická norma
Kategorie: Technické normy GB