
Surface chemical analysis—Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy
NORMA vydána dne 21.5.2021
Označení normy: GB/T 40110-2021
Datum vydání normy: 21.5.2021
Země: Čínská technická norma
Kategorie: Technické normy GB