
Micro-electromechanical system technology—Measuring method for in-plane length measurements of MEMS microstructures using an optical interferometer
NORMA vydána dne 1.11.2017
Označení normy: GB/T 34893-2017
Datum vydání normy: 1.11.2017
Země: Čínská technická norma
Kategorie: Technické normy GB