GB/T 32816-2016

Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the combination of the deep etching and bonding process

NORMA vydána dne 29.8.2016

Anglicky a čínsky -
Elektronické PDF (8639.60 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: GB/T 32816-2016
Datum vydání normy: 29.8.2016
Země: Čínská technická norma
Kategorie: Technické normy GB