GB/T 32814-2016

Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the SOI wafer based MEMS process

NORMA vydána dne 29.8.2016

Anglicky a čínsky -
Elektronické PDF (7110.50 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: GB/T 32814-2016
Datum vydání normy: 29.8.2016
Země: Čínská technická norma
Kategorie: Technické normy GB