Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 6: Axial fatigue testing methods of thin film materials.
NORMA vydána dne 1.7.2007
Označení normy: E DIN IEC 62047-6:2007-07
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 1.7.2007
Počet stran: 32
Přibližná hmotnost: 96 g (0.21 liber)
Země: Německá technická norma
Kategorie: Technické normy DIN
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 6: Prüfverfahren zur uniaxialen Dauerschwingfestigkeit von Dünnschicht-Werkstoffen.