E DIN IEC 62047-4:2006-09

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 4: Generic specification for MEMS.

NORMA vydána dne 1.9.2006

Anglicky a německy -
Elektronické PDF (2726.50 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: E DIN IEC 62047-4:2006-09
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 1.9.2006
Počet stran: 53
Přibližná hmotnost: 159 g (0.35 liber)
Země: Německá technická norma
Kategorie: Technické normy DIN

Anotace textu normy E DIN IEC 62047-4:2006-09 :

Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 4: Fachgrundspezifikation für Bauteile der Mikrosystemtechnik.