Microelectromechanical devices - Part 2: Tensile testing method of thin film materials.
NORMA vydána dne 1.8.2004
Označení normy: E DIN IEC 62047-2:2004-08
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 1.8.2004
Počet stran: 22
Přibližná hmotnost: 66 g (0.15 liber)
Země: Německá technická norma
Kategorie: Technické normy DIN
Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 2: Prüfverfahren zur Zugbeanspruchung bei Dünnschicht-Werkstoffen.