Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 12: A method for fatigue testing thin film materials using the resonant vibration of a MEMS structure.
NORMA vydána dne 1.5.2010
Označení normy: E DIN IEC 62047-12:2010-05
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 1.5.2010
Počet stran: 46
Přibližná hmotnost: 138 g (0.30 liber)
Země: Německá technická norma
Kategorie: Technické normy DIN
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 12: Verfahren zur Prüfung der Ermüdungsfestigkeit von Dünnschichtwerkstoffen unter Verwendung der Resonanzschwingungen bei MEMS-Strukturen.