E DIN IEC 62047-11:2010-06

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 11: Test method for linear thermal expansion coefficients of MEMS materials.

NORMA vydána dne 1.6.2010

Anglicky a německy -
Elektronické PDF (2177.10 CZK)

Anglicky a německy -

Tištěné (2713.40 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: E DIN IEC 62047-11:2010-06
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 1.6.2010
Počet stran: 24
Přibližná hmotnost: 72 g (0.16 liber)
Země: Německá technická norma
Kategorie: Technické normy DIN

Anotace textu normy E DIN IEC 62047-11:2010-06 :

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 11: Prüfverfahren für lineare thermische Ausdehnungskoeffizienten für Werkstoffe der Mikrosystemtechnik.