E DIN IEC 62047-10:2010-05

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 10: Micropillar compression test for MEMS materials.

NORMA vydána dne 1.5.2010

Anglicky a německy -
Elektronické PDF (1692.50 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: E DIN IEC 62047-10:2010-05
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 1.5.2010
Počet stran: 18
Přibližná hmotnost: 54 g (0.12 liber)
Země: Německá technická norma
Kategorie: Technické normy DIN

Anotace textu normy E DIN IEC 62047-10:2010-05 :

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 10: Druckprüfverfahren an zylinderförmigen Mikroproben für Werkstoffe der Mikrosystemtechnik.