Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 10: Micropillar compression test for MEMS materials.
NORMA vydána dne 1.5.2010
Designation standards: E DIN IEC 62047-10:2010-05
Note: NEPLATNÁ
Publication date standards: 1.5.2010
The number of pages: 18
Approximate weight : 54 g (0.12 lbs)
Country: German technical standard
Kategorie: Technické normy DIN
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 10: Druckprüfverfahren an zylinderförmigen Mikroproben für Werkstoffe der Mikrosystemtechnik.