
Semiconductor devices - Part 1: Microelectromechanical devices; Terms and definitions.
NORMA vydána dne 1.10.2003
Označení normy: E DIN IEC 62047-1:2003-10
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 1.10.2003
Počet stran: 37
Přibližná hmotnost: 111 g (0.24 liber)
Země: Německá technická norma
Kategorie: Technické normy DIN
Halbleiterbauelemente - Teil 1: Bauteile der Mikrosystemtechnik; Begriffe und Definitionen.