E DIN EN 62047-21:2012-11

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 21: Test method for Poisson´s ratio of thin film MEMS materials.

NORMA vydána dne 1.11.2012

Anglicky a německy -
Elektronické PDF (1821.80 CZK)

Anglicky a německy -

Tištěné (2198.40 CZK)

Anglicky a německy -

CD-ROM (1859.40 CZK)

The information about the standard:

Designation standards: E DIN EN 62047-21:2012-11
Note: NEPLATNÁ
Publication date standards: 1.11.2012
The number of pages: 24
Approximate weight : 72 g (0.16 lbs)
Country: German technical standard
Kategorie: Technické normy DIN

Annotation of standard text E DIN EN 62047-21:2012-11 :

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 21: Prüfverfahren zur Querkontraktionszahl von Dünnschichtwerkstoffen der Mikrosytsemtechnik.