E DIN EN 62047-17:2011-06

Semiconductor devices - Micro- electromechanical devices - Part 17: Bulge test method for measuring mechanical properties of thin film.

NORMA vydána dne 1.6.2011

Anglicky a německy -
Elektronické PDF (2641.10 CZK)

Anglicky a německy -

Tištěné (3193.90 CZK)

Anglicky a německy -

CD-ROM (2678.80 CZK)

The information about the standard:

Designation standards: E DIN EN 62047-17:2011-06
Note: NEPLATNÁ
Publication date standards: 1.6.2011
The number of pages: 45
Approximate weight : 135 g (0.30 lbs)
Country: German technical standard
Kategorie: Technické normy DIN

Annotation of standard text E DIN EN 62047-17:2011-06 :

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 17: Wölbungs-Prüfverfahren zur Bestimmung mechanischer Eigenschaften dünner Schichten.