E DIN EN 62047-16:2012-11

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 16: Test methods for determining residual stresses of MEMS films - Wafer curvature and cantilever beam deflection methods.

NORMA vydána dne 1.11.2012

Anglicky a německy -
Elektronické PDF (1648.90 CZK)

Anglicky a německy -

Tištěné (1999.70 CZK)

Anglicky a německy -

CD-ROM (1686.40 CZK)

The information about the standard:

Designation standards: E DIN EN 62047-16:2012-11
Note: NEPLATNÁ
Publication date standards: 1.11.2012
The number of pages: 18
Approximate weight : 54 g (0.12 lbs)
Country: German technical standard
Kategorie: Technické normy DIN

Annotation of standard text E DIN EN 62047-16:2012-11 :

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 16: Messverfahren zur Ermittlung der Eigenspannungen in Dünnschichten von MEMS-Bauteilen - Substratkrümmungs- und Biegebalken-Verfahren.