Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1: Terms and definitions.
NORMA vydána dne 1.5.2014
Označení normy: E DIN EN 62047-1:2014-05
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 1.5.2014
Počet stran: 59
Přibližná hmotnost: 177 g (0.39 liber)
Země: Německá technická norma
Kategorie: Technické normy DIN
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 1: Begriffe.