E DIN EN 62047-30:2016-08

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 30: Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of MEMS piezoelectric thin film.

NORMA vydána dne 1.8.2016

Anglicky a německy -
Elektronické PDF (2580.20 CZK)

Anglicky a německy -

Tištěné (3302.90 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: E DIN EN 62047-30:2016-08
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 1.8.2016
Počet stran: 34
Přibližná hmotnost: 102 g (0.22 liber)
Země: Německá technická norma
Kategorie: Technické normy DIN

Anotace textu normy E DIN EN 62047-30:2016-08 :

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 30: Messverfahren für Kenngrößen der elektromechanischen Energiewandlung bei piezoelektrischen MEMS-Dünnschichten.