Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 29: Electromechanical relaxation test method for freestanding conductive thin-films under room temperature.
NORMA vydána dne 1.8.2016
Označení normy: E DIN EN 62047-29:2016-08
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 1.8.2016
Počet stran: 19
Přibližná hmotnost: 57 g (0.13 liber)
Země: Německá technická norma
Kategorie: Technické normy DIN
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 29: Elektromechanisches Relaxations-Prüfverfahren für freistehende elektrisch leitende Dünnschichten bei Raumtemperatur.