Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 28: Performance testing method of vibration-driven MEMS electret energy harvesting devices.
NORMA vydána dne 1.9.2015
Označení normy: E DIN EN 62047-28:2015-09
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 1.9.2015
Počet stran: 27
Přibližná hmotnost: 81 g (0.18 liber)
Země: Německá technická norma
Kategorie: Technické normy DIN
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 28: Prüfverfahren der Funktionsfähigkeit für schwingungsbasierte MEMS-Elektret-Bauelemente zum Energy-Harvesting.