E DIN EN 62047-26:2014-05

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 26: Description and measurement methods for micro trench and needle structures.

NORMA vydána dne 1.5.2014

Anglicky a německy -
Elektronické PDF (2822.10 CZK)

Anglicky a německy -

Tištěné (3624.70 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: E DIN EN 62047-26:2014-05
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 1.5.2014
Počet stran: 53
Přibližná hmotnost: 159 g (0.35 liber)
Země: Německá technická norma
Kategorie: Technické normy DIN

Anotace textu normy E DIN EN 62047-26:2014-05 :

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 26: Beschreibung und Messverfahren für Mikro-Rillen und Nadelstrukturen.