Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 25: Silicon-based MEMS fabrication technology - Measurement method of pull-press and shearing strength of micro bonding area.
NORMA vydána dne 1.5.2014
Označení normy: E DIN EN 62047-25:2014-05
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 1.5.2014
Počet stran: 38
Přibližná hmotnost: 114 g (0.25 liber)
Země: Německá technická norma
Kategorie: Technické normy DIN
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 25: Siliziumbasierte MEMS-Herstellungstechnologie - Messverfahren zur Zug-Druck- und Scherfestigkeit gebondeter Flächen im Mikrometerbereich.