Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 14: Forming limit measuring method of metallic film materials.
NORMA vydána dne 1.10.2010
Označení normy: E DIN EN 62047-14:2010-10
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 1.10.2010
Počet stran: 29
Přibližná hmotnost: 87 g (0.19 liber)
Země: Německá technická norma
Kategorie: Technické normy DIN
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 14: Verfahren zur Ermittlung der Grenzformänderung metallischer Dünnschichtwerkstoffe.