
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1: Terms and definitions.
NORMA vydána dne 1.5.2014
    
        Označení normy: E DIN EN 62047-1:2014-05
                
                
                
                Poznámka:    NEPLATNÁ
               
                Datum vydání normy:  1.5.2014
        Počet stran: 59
Přibližná hmotnost: 177 g (0.39 liber)
        Země:          Německá technická norma
        Kategorie:  Technické normy DIN
        
                
              
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 1: Begriffe.