Testing of materials for semiconductor technology; determination of impurities in carrier gases and doping gases; determination of oxygen impurity in N2, Ar, He, Ne and H2 by using a galvanic cell.
NORMA vydána dne 1.12.1989
Označení normy: E DIN 50450-2:1989-12
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 1.12.1989
Počet stran: 4
Přibližná hmotnost: 12 g (0.03 liber)
Země: Německá technická norma
Kategorie: Technické normy DIN
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie; Bestimmung von Verunreinigungen in Träger- und Dotiergasen; Bestimmung der Sauerstoffverunreinigung in Stickstoff, Argon, Helium, Neon und Wasserstoff mittels einer galvanischen Meßzelle.