
Testing of materials for semiconductor technology - Determination of traces of elements in liquids - Part 6: Determination of 36 elements in a high-purity ammonium fluoride solution (NH4; F) and in etching mixtures of high-purity ammonium fluoride solution containing hydrofluoric acid.
NORMA vydána dne 1.11.2012
Designation standards: E DIN 50451-6:2012-11
Note: NEPLATNÁ
Publication date standards: 1.11.2012
The number of pages: 13
Approximate weight : 39 g (0.09 lbs)
Country: German technical standard
Kategorie: Technické normy DIN
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Elementspuren in Flüssigkeiten - Teil 6: Bestimmung von 36 Elementen in hochreiner Ammoniumfluorid-Lösung (NH4; F) und Ätzmischungen aus hochreiner Ammoniumfluorid-Lösung mit Flusssäure.