
Microbeam analysis - Selected instrumental performance parameters for the specification and checking of energy-dispersive X-ray spectrometers (EDS) for use with a scanning electron microscope (SEM) or an electron probe microanalyser (EPMA).
NORMA vydána dne 1.9.2022
Označení normy: DIN ISO 15632:2022-09
Datum vydání normy: 1.9.2022
Počet stran: 21
Přibližná hmotnost: 63 g (0.14 liber)
Země: Německá technická norma
Kategorie: Technické normy DIN
Mikrobereichsanalyse - Ausgewählte instrumentelle Performanceparameter zur Spezifizierung und Überprüfung engergiedispersiver Röntgenspektrometer (EDS) für die Anwendung mit einem Rasterelektronenmikroskop (REM) oder einem Elektronenstrahlmikroanalysator (ESMA).