Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 6: Axial fatigue testing methods of thin film materials.
NORMA vydána dne 1.7.2010
Označení normy: DIN EN 62047-6:2010-07
Datum vydání normy: 1.7.2010
Počet stran: 17
Přibližná hmotnost: 51 g (0.11 liber)
Země: Německá technická norma
Kategorie: Technické normy DIN
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 6: Prüfverfahren zur uniaxialen Dauerschwingfestigkeit von Dünnschicht-Werkstoffen.