DIN EN 62047-4:2011-03

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 4: Generic specification for MEMS.

NORMA vydána dne 1.3.2011

Německy -
PDF - okamžité stažení (2507.10 CZK)

Německy -

Tištěné (3030.50 CZK)

Německy -

CD-ROM (2544.90 CZK)

The information about the standard:

Designation standards: DIN EN 62047-4:2011-03
Publication date standards: 1.3.2011
The number of pages: 22
Approximate weight : 66 g (0.15 lbs)
Country: German technical standard
Kategorie: Technické normy DIN

Annotation of standard text DIN EN 62047-4:2011-03 :

Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 4: Fachgrundspezifikation für Mikrosystemtechnik.