NORMSERVIS s.r.o.

DIN EN 62047-2:2007-02

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 2: Tensile testing method of thin film materials.

NORMA vydána dne 1.2.2007

Německy -
PDF - okamžité stažení (1496.10 CZK)

Německy -
Tištěné (1805.50 CZK)

Německy -
CD-ROM (1533.80 CZK)

The information about the standard:

Designation standards: DIN EN 62047-2:2007-02
Publication date standards: 1.2.2007
The number of pages: 14
Approximate weight : 42 g (0.09 lbs)
Country: German technical standard
Kategorie: Technické normy DIN

Annotation of standard text DIN EN 62047-2:2007-02 :

Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 2: Prüfverfahren zur Zugbeanspruchung bei Dünnschicht-Werkstoffen.