Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 18: Bend testing methods of thin film materials.
NORMA vydána dne 1.4.2014
Designation standards: DIN EN 62047-18:2014-04
Publication date standards: 1.4.2014
The number of pages: 15
Approximate weight : 45 g (0.10 lbs)
Country: German technical standard
Kategorie: Technické normy DIN
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 18: Biegeprüfverfahren für Dünnschichtwerkstoffe.