DIN EN 62047-12:2012-06

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 12: Bending fatigue testing method of thin film materials using resonant vibration of MEMS structures.

NORMA vydána dne 1.6.2012

Německy -
PDF - okamžité stažení (2718.10 CZK)

Německy -

Tištěné (3293.10 CZK)

Německy -

CD-ROM (2755.20 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: DIN EN 62047-12:2012-06
Datum vydání normy: 1.6.2012
Počet stran: 31
Přibližná hmotnost: 93 g (0.21 liber)
Země: Německá technická norma
Kategorie: Technické normy DIN

Anotace textu normy DIN EN 62047-12:2012-06 :

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 12: Verfahren zur Prüfung der Biege-Ermüdungsfestigkeit von Dünnschichtwerkstoffen unter Verwendung der Resonanzschwingungen bei MEMS-Strukturen.