DIN EN 62047-11:2014-04

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 11: Test method for coefficients of linear thermal expansion of free-standing materials for micro-electromechanical systems.

NORMA vydána dne 1.4.2014

Německy -
PDF - okamžité stažení (2510.10 CZK)

Německy -

Tištěné (3034.10 CZK)

Německy -

CD-ROM (2548.00 CZK)

The information about the standard:

Designation standards: DIN EN 62047-11:2014-04
Publication date standards: 1.4.2014
The number of pages: 21
Approximate weight : 63 g (0.14 lbs)
Country: German technical standard
Kategorie: Technické normy DIN

Annotation of standard text DIN EN 62047-11:2014-04 :

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 11: Prüfverfahren für lineare thermische Ausdehnungskoeffizienten für freistehende Werkstoffe der Mikrosystemtechnik.