DIN EN 62047-8:2011-12

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 8: Strip bending test method for tensile property measurement of thin films.

NORMA vydána dne 1.12.2011

Německy -
PDF - okamžité stažení (2345.40 CZK)

Německy -

Tištěné (2917.40 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: DIN EN 62047-8:2011-12
Datum vydání normy: 1.12.2011
Počet stran: 20
Přibližná hmotnost: 60 g (0.13 liber)
Země: Německá technická norma
Kategorie: Technické normy DIN

Anotace textu normy DIN EN 62047-8:2011-12 :

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 8: Streifen-Biege-Prüfverfahren zur Messung von Zugbeanspruchungsmerkmalen dünner Schichten.