Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 5: RF MEMS switches.
NORMA vydána dne 1.3.2012
Označení normy: DIN EN 62047-5:2012-03
Datum vydání normy: 1.3.2012
Počet stran: 37
Přibližná hmotnost: 111 g (0.24 liber)
Země: Německá technická norma
Kategorie: Technické normy DIN
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 5: Hochfrequenz-MEMS-Schalter.