NORMSERVIS s.r.o.

DIN EN 62047-4:2011-03

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 4: Generic specification for MEMS.

NORMA vydána dne 1.3.2011

Německy -
PDF - okamžité stažení (2515.50 CZK)
Německy -
Tištěné (3128.80 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: DIN EN 62047-4:2011-03
Datum vydání normy: 1.3.2011
Počet stran: 22
Přibližná hmotnost: 66 g (0.15 liber)
Země: Německá technická norma
Kategorie: Technické normy DIN

Anotace textu normy DIN EN 62047-4:2011-03 :

Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 4: Fachgrundspezifikation für Mikrosystemtechnik.