Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 3: Thin film standard test piece for tensile-testing.
NORMA vydána dne 1.2.2007
Označení normy: DIN EN 62047-3:2007-02
Datum vydání normy: 1.2.2007
Počet stran: 9
Přibližná hmotnost: 27 g (0.06 liber)
Země: Německá technická norma
Kategorie: Technické normy DIN
Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 3: Dünnschicht-Standardmikroprobe für die Prüfung der Zugbeanspruchung.