DIN EN 62047-26:2016-12

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 26: Description and measurement methods for micro trench and needle structures.

NORMA vydána dne 1.12.2016

Německy -
PDF - okamžité stažení (2792.70 CZK)

Německy -

Tištěné (3484.00 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: DIN EN 62047-26:2016-12
Datum vydání normy: 1.12.2016
Počet stran: 29
Přibližná hmotnost: 87 g (0.19 liber)
Země: Německá technická norma
Kategorie: Technické normy DIN

Anotace textu normy DIN EN 62047-26:2016-12 :

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 26: Beschreibung und Messverfahren für Mikro-Rillen und Nadelstrukturen.