DIN EN 62047-25:2017-04

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 25: Silicon based MEMS fabrication technology - Measurement method of pull-press and shearing strength of micro bonding area.

NORMA vydána dne 1.4.2017

Německy -
PDF - okamžité stažení (2532.90 CZK)

Německy -

Tištěné (3150.40 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: DIN EN 62047-25:2017-04
Datum vydání normy: 1.4.2017
Počet stran: 23
Přibližná hmotnost: 69 g (0.15 liber)
Země: Německá technická norma
Kategorie: Technické normy DIN

Anotace textu normy DIN EN 62047-25:2017-04 :

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 25: Siliziumbasierte MEMS-Herstellungstechnologie - Messverfahren zur Zug-Druck- und Scherfestigkeit gebondeter Flächen im Mikrometerbereich.