DIN EN 62047-21:2015-04

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 21: Test method for Poisson´s ratio of thin film MEMS materials.<

NORMA vydána dne 1.4.2015

Německy -
PDF - okamžité stažení (2207.50 CZK)

Německy -

Tištěné (2832.90 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: DIN EN 62047-21:2015-04
Datum vydání normy: 1.4.2015
Počet stran: 16
Přibližná hmotnost: 48 g (0.11 liber)
Země: Německá technická norma
Kategorie: Technické normy DIN

Anotace textu normy DIN EN 62047-21:2015-04 :

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 21: Prüfverfahren zur Querkontraktionszahl von Dünnschichtwerkstoffen der Mikrosystemtechnik.